体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备
基本信息
| 申请号 | CN202110018462.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114744974A | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN114744974A | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | H03H3/02（2006.01）I;H03H9/17（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 庞慰;徐洋;张孟伦 | 申请（专利权）人 | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京金诚同达律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 300462天津市滨海新区开发区西区新业五街27号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；压电层，包括在厚度方向上彼此相邻叠置的至少第一层和第二层，第一层具有第一厚度，第二层具有第二厚度；和顶电极，其中：第一层和第二层中的至少一层为单晶压电层，所述谐振器具有机电耦合系数Kt2，且Kt2＞10％。本发明也涉及一种体声波谐振器的制造方法，一种滤波器和一种电子设备。 |
