柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构
基本信息
| 申请号 | CN201811605251.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109889173B | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN109889173B | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | H03H1/00（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 庞慰;高传海;张孟伦 | 申请（专利权）人 | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 300072天津市南开区卫津路92号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构，包括：第一顶电极和第二顶电极，二者之间具有间隙；所述第一顶电极和第二顶电极下方的压电层；所述压电层下方的一个或两个底电极；所述底电极下方的柔性基底；其中，所述两个顶电极之间的间隙的下方不具有所述压电层。 |
