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一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法

基本信息

申请号 CN201510232926.8 申请日 -
公开（公告）号 CN105016293B 公开（公告）日 2017-03-22
申请公布号 CN105016293B 申请公布日 2017-03-22
分类号 B81C1/00(2006.01)I;H01J9/00(2006.01)I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 王连卫;张弛;李劢;朱一平;徐少辉 申请（专利权）人 上海欧普泰科技创业股份有限公司
代理机构 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 代理人 吴泽群
地址 200062 上海市普陀区中山北路3663号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法，包括切割成圆形的硅微通道板，所述的硅微通道板置于一模具台中，所述的模具台由中心设有与硅微通道板大小匹配的台阶孔，硅微通道板置于台阶孔中；模具台上设置有重压片，所述重压片完全覆盖台阶孔；模具台置于一石英架上；将石英架、模具台、重压片和硅微通道板置于氧化炉管中。本发明具有以下有益效果：1.本发明是通过模具对热氧化时的氧气进行引导形成梯度。并且模具还会对球面微通道表面起到一定的约束作用，以助于达到确定的曲率半径。2.使用模具台控制氧化梯度，使得氧化层厚度也形成梯度，引起梯度应力，释放该应力即形成球面的硅微通道板。