首页/ 上海欧普泰科技创业股份有限公司/ 专利详情

利用旋吸法在微通道板侧壁沉积薄膜的方法及其专用装置

基本信息

申请号 CN201410327632.9 申请日 -
公开（公告）号 CN104289382B 公开（公告）日 2019-04-05
申请公布号 CN104289382B 申请公布日 2019-04-05
分类号 B05C5/02（2006.01）I; B05C11/02（2006.01）I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 朱一平; 王连卫 申请（专利权）人 上海欧普泰科技创业股份有限公司
代理机构 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 代理人 吴泽群
地址 200062 上海市普陀区中山北路3663号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种利用旋吸法在微通道板侧壁沉积薄膜的方法及其专用装置，本发明通过在对微通道板进行旋转滴涂溶胶的同时，在微通道板的一侧进行真空抽吸，实现所需沉积薄膜材料的溶胶液体在微通道内的定向均匀流动，然后对粘附在微通道侧壁上的溶胶进行高温处理，从而实现薄膜在微通道板侧壁上的沉积。单层沉积的薄膜厚度，取决于滴涂时旋转速度、溶胶浓度和微通道板两侧的压强差。为达到一定厚度的薄膜沉积，可对此过程方法多次循环使用，即多层溶胶凝胶法，直至实现预定厚度。本发明的有益效果是：使所需沉积薄膜材料的溶胶液体均匀旋涂在微通道板表面，并在狭小尺寸的微通道内实现定向流动，进而实现其薄膜在微通道板侧壁上的沉积。