一种硅微通道板的氧化方法
基本信息
| 申请号 | CN201210402277.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102956416B | 公开（公告）日 | 2016-12-21 |
| 申请公布号 | CN102956416B | 申请公布日 | 2016-12-21 |
| 分类号 | H01J9/12(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王连卫;彭波波;杨平雄 | 申请（专利权）人 | 上海欧普泰科技创业股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴泽群 |
| 地址 | 200062 上海市普陀区中山北路3663号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硅微通道板的氧化方法，具体步骤如下：1）将硅微通道板切割成一定形状；2）将硅微通道板置1号液和2号液中清洗；3）在平面型石英舟上放置两块平行的硅片或石英棒，将清洗好的硅微通道板架在硅片或石英棒上氧化，石英棒或硅片的方向与气流方向平行。本发明在已经通过阳极氧化等方法制作的硅微通道板的基础上，进行氧化，提高硅微通道板的板电阻，并能够克服应力造成的弯曲等问题，从而实现微通道板的应用。 |
