一种防泄漏的TMAH提纯设备
基本信息
| 申请号 | CN201920441855.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210176759U | 公开（公告）日 | 2020-03-24 |
| 申请公布号 | CN210176759U | 申请公布日 | 2020-03-24 |
| 分类号 | C07C209/84;C07C211/63 | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 梁海慧;杨伟林 | 申请（专利权）人 | 厦门积光集成电路科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门原创专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 徐东峰 |
| 地址 | 361000 福建省厦门市火炬高新区信息光电园金丰大厦101室(林后西路1号) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种防泄漏的TMAH提纯设备，包括槽壳，所述槽壳内安装有槽壳板，所述槽壳板的顶端安装有支柱，且支柱位于槽壳的顶端两侧位置，所述槽壳板的顶端安装有内衬板，所述内衬板的顶端安装有结壳，所述结壳的顶端安装有阴极，所述阴极的顶端安装有第一阳极，所述第一阳极的一侧安装有第二阳极，所述第一阳极的顶端安装有第一固定板，本实用新型外侧顶部设置有散热板，散热板与边板均设置有散热效果，对本设备内侧进行温度的把控，进一步的保证设备内部提纯的质量，增加工作质量，提高生产效益，本实用新型内侧设置有两个阳极进行反应，保证了产品的质量，优质的作出想要的纯浓度。 |
