一种光刻机的挡光板装置
基本信息
| 申请号 | CN201910653028.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110398883A | 公开（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申请公布号 | CN110398883A | 申请公布日 | 2019-11-01 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 郎小虎 | 申请（专利权）人 | 上海微高精密机械工程有限公司 |
| 代理机构 | 北京艾皮专利代理有限公司 | 代理人 | 上海微高精密机械工程有限公司 |
| 地址 | 200120 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张东路1525号3幢G104室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及集成电路生产设备技术领域，具体公开了一种光刻机的挡光板装置，包括两块前挡光板，前挡光板上端前后两侧分别通过一第一滑块与一第二滑块和对应的一上导轨连接，上导轨内设有一滚珠丝杠，前挡光板下方对应设有两块后挡光板，且后挡光板下端左右两侧分别通过一第一滑块与一第二滑块和对应的一下导轨连接，下导轨内设有一滚珠丝杠。本发明通过上导轨内的滚珠丝杠来带动前挡光板在水平方向进行左右移动，同时通过下导轨内的滚珠丝杠来带动后挡光板在水平方向进行前后移动，进而通过后挡光板与前挡光板的配合使用来构成一个透光口，结构简单，解决了现有的光刻机的挡光板装置结构较为复杂且空间占用率较高的问题。 |
