一种光刻机的快门叶片
基本信息
| 申请号 | CN201511022925.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106933041B | 公开（公告）日 | 2019-11-26 |
| 申请公布号 | CN106933041B | 申请公布日 | 2019-11-26 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01） | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 陈梦来; 刘国淦; 章富平 | 申请（专利权）人 | 上海微高精密机械工程有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司; 上海微高精密机械工程有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机的快门叶片，快门叶片接受光源照射的一面设有用于增大照射光的反射光线与水平线的夹角的光路转换件。通过设置光路转换件，使快门叶片上形成底部具有V形或倒V形斜坡的环形凹槽或条形凹槽，以及表面呈弧形的球形凸起，使照射在快门叶片表面的光线在经快门叶片反射后远离灯室的保护玻璃，以减少反射光线进入灯室，从而使位于灯室顶部的能量传感器能稳定工作，实现精密控制曝光剂量的目的。此外，设置V形或倒V形斜坡还具有增大散热面积，减少快门叶片的热量吸热，提高其使用寿命的效果；而设置球形凸起增加了快门叶片的强度，缓解反射光过于集中导致的局部温度过高的现象，进一步提高了快门叶片的使用寿命。 |
