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一种调焦调平系统及其调焦调平方法

基本信息

申请号	CN201511024299.5	申请日	-
公开（公告）号	CN106933070B	公开（公告）日	2018-11-09
申请公布号	CN106933070B	申请公布日	2018-11-09
分类号	G03F9/00;G03F7/20	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	王晓庆;王福亮	申请（专利权）人	上海微高精密机械工程有限公司
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
地址	201203 上海市浦东新区张东路1525号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种调焦调平系统及其调焦调平方法，该调焦调平系统包括发射部分和接收部分，发射部分包括光源、衍射光发生及调制组件和第一反射镜组，接收部分包括第二反射镜组、光线汇聚镜组、光电传感器及信号处理单元，光源发出的照明光束经衍射光发生及调制组件产生出射方向不同的测量光束和参考光束，测量光束经第一反射镜组后经被测对象反射，并通过第二反射镜组后投射至光线汇聚镜组上，参考光束依次经第一、第二反射镜组后投射至光线汇聚镜组上，两束光线发生干涉并产生干涉条纹，光电传感器及信号处理单元根据干涉条纹获得被测对象表面高度的变化值进行调焦调平。本发明采用相移干涉技术，提高了系统的测量精度以及系统的稳定性、可靠性。