调焦调平的离焦倾斜补偿装置与方法
基本信息
| 申请号 | CN201511024259.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106933044B | 公开（公告）日 | 2019-03-12 |
| 申请公布号 | CN106933044B | 申请公布日 | 2019-03-12 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I; G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 顾俊; 王海江 | 申请（专利权）人 | 上海微高精密机械工程有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司; 上海微高精密机械工程有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种调焦调平的离焦倾斜补偿装置与方法，该装置包括：照明单元、投影单元、探测单元及中继单元，所述投影单元包括投影狭缝整列，该投影狭缝阵列包括若干用于形成精测试光斑的第一狭缝，和设置在所述第一狭缝周围用于形成倾斜测试光斑的第二狭缝，所述第二狭缝沿调节调平系统的投影方向设置。本发明在沿着调焦调平系统的投影方向在第一狭缝的附近增加第二狭缝，进而在精测试光斑周围增设倾斜测试光斑，从而改变光斑布局，通过该倾斜测试光斑实现对硅片面上每个精测试光斑沿调焦调平系统投影方向的倾斜量进行实时测量，并使用软件模块根据倾斜量对单点的测量结果进行补偿。 |
