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一种调焦调平测量系统及其校准方法

基本信息

申请号	CN201511025832.X	申请日	-
公开（公告）号	CN106933072B	公开（公告）日	2019-07-23
申请公布号	CN106933072B	申请公布日	2019-07-23
分类号	G03F9/00;G03F7/20	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	杨宣华;陈楠鹏;王海江	申请（专利权）人	上海微高精密机械工程有限公司
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
地址	201203 上海市浦东新区张东路1525号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种调焦调平测量系统及其校准方法，该系统包括测量分系统和校准分系统，测量分系统包括第一照明单元、第一投影单元、第一探测透镜组及第一调焦探测器，校准分系统包括第二照明单元、第二投影单元、第二探测透镜组及第二调焦探测器，测量分系统与校准分系统关于硅平面的上表面呈轴对称分布，第一照明单元发出的光源经所述第一投影单元入射至硅平面的上表面，经反射后入射至第一探测透镜组并被第一调焦探测器接收；第二照明单元发出的光源经第二投影单元入射至硅平面的下表面，经反射后入射至第二探测透镜组并被第二调焦探测器接收。本发明在同一个系统中设置两套三角测量装置，能够进行交叉测量，从而快速识别漂移部位并进行有效补偿。