一种对准系统及对准方法
基本信息
| 申请号 | CN201510859907.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106814557B | 公开（公告）日 | 2019-04-30 |
| 申请公布号 | CN106814557B | 申请公布日 | 2019-04-30 |
| 分类号 | G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 于大维; 杜荣 | 申请（专利权）人 | 上海微高精密机械工程有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司; 上海微高精密机械工程有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种对准系统及对准方法，该对准系统包括：掩模版，提供投影曝光图案和对准标记；投影物镜焦面测量标记，设置于所述掩模版上；投影物镜，对掩模版上的曝光图案、标记成像到硅片方像方焦面；工件台，承载有同轴镜头、基准板和硅片，其中同轴镜头对对准标记、投影物镜焦面测量标记和调焦标记进行成像，基准板承载有调焦标记和参考标记，并提供水平向和垂向测量基准，硅片承载有硅片对准标记；调焦调平系统，对硅片表面调平，控制硅片上表面与硅片焦面重合；离轴对准系统，对硅片图案对准。本发明旨在为调焦调平、对准、焦面探测建立统一的测量基准，提高垂向、水平向测量分系统对温度变化等情况的适应能力。 |
