首页/ 中威新能源（成都）有限公司/ 专利详情

一种硅异质结太阳电池用TCO薄膜的制作设备

基本信息

申请号 CN202020646558.8 申请日 -
公开（公告）号 CN211929515U 公开（公告）日 2020-11-13
申请公布号 CN211929515U 申请公布日 2020-11-13
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘正新;谢毅;石建华;孟凡英;周华 申请（专利权）人 中威新能源（成都）有限公司
代理机构 成都时誉知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 中威新能源（成都）有限公司
地址 610000四川省成都市双流西南航空港经济开发区内
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅异质结太阳电池用TCO薄膜的制作设备，硅片导入腔和/或沉积腔和/或缓冲腔安装有真空泵、加热器和冷凝泵，利用真空泵、加热器和冷凝泵，真空泵和冷凝泵配合使用，设备能够快速排除腔室内的水气，降低腔室中的水气分压，并将水气分压保持在1x10‑3Pa以下；所述沉积腔和/或缓冲腔还安装有水气供给装置，能够向相应腔室内供应水气，从而将水气分压稳定在1x10‑5Pa以上，避免TCO薄膜产生脱落。针对硅异质结太阳电池制作过程中水气含量高、受工况和环境影响波动范围大，影响太阳电池性能的问题，有效控制薄膜制作环境中水气含量，提高TCO薄膜性能和稳定性，从而提高太阳电池性能和制程的稳定性。