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一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法

基本信息

申请号 CN202010408459.0 申请日 -
公开（公告）号 CN111430478B 公开（公告）日 2021-07-27
申请公布号 CN111430478B 申请公布日 2021-07-27
分类号 H01L31/0236（2006.01）I;H01L31/072（2012.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 孙林;孟凡英;杜俊霖;刘正新;陈功兵;何堂贵 申请（专利权）人 中威新能源（成都）有限公司
代理机构 成都时誉知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 汪林
地址 610000四川省成都市双流西南航空港经济开发区内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法，在制绒设备的化学抛光工艺槽中槽体药液采用脉冲循环方式处理硅片；本发明的有益效果是：采用脉冲循环使硅片绒面圆化更加均匀；利用脉冲循环比确定脉冲循环的时间节点与时间长度，实现药液扰动，保证硅片在化学抛光工艺中反应固定均匀，实现外观绒面均匀；利用脉冲循环阶段通入臭氧的处理方式，实现臭氧进入化学抛光工艺的反应分解在槽内浓度稳定；同时该脉冲循环方式适用于氢氟酸和硝酸的混合酸液的常规化学抛光。