石墨烯改性的干膜光致抗蚀剂及其在印刷线路板中的应用

基本信息

申请号 CN201810176044.8 申请日 -
公开(公告)号 CN110221520B 公开(公告)日 2021-10-08
申请公布号 CN110221520B 申请公布日 2021-10-08
分类号 G03F7/004;G03F7/027;H05K3/06 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 钱晓春;衡京;胡春青;翁云峰 申请(专利权)人 常州强力先端电子材料有限公司
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 韩建伟;白雪
地址 213011 江苏省常州市武进区遥观镇钱家工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种石墨烯改性的干膜光致抗蚀剂及其在印刷线路板中的应用。该石墨烯改性的干膜光致抗蚀剂包括石墨烯改性的聚氨酯(甲基)丙烯酸酯、碱可溶性树脂、光聚合单体及光引发剂。上述干膜光致抗蚀剂中采用了石墨烯改性的聚氨酯(甲基)丙烯酸酯,因石墨烯具有低原子层厚度、较高的拉伸断裂伸长率和抗冲击强度,利用石墨烯改性的聚氨酯(甲基)丙烯酸酯能够极大提高干膜光致抗蚀剂的柔韧性、盖孔性和抗电镀性,使得本发明提供的干膜光致抗蚀剂能更好地应用在多层印刷线路板和微型印刷线路板的制备中。