一种芯片生产用方便送料的刻蚀机
基本信息
| 申请号 | CN202022325722.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213304074U | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN213304074U | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）;H01J37/32（2006.01） | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈尔城 | 申请（专利权）人 | 沈阳航科智能系统有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳新科知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 史卫民 |
| 地址 | 110000 辽宁省沈阳市沈抚新区金枫街75-1号0301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片生产用方便送料的刻蚀机，包括底座，所述底座的顶部固定安装有密封箱，所述密封箱的正面通过铰链铰接有密封门，所述底座内部的两侧均固定安装有第一安装杆，所述第一安装杆相对靠近的一侧均固定安装有两个放置杆，所述底座的顶部固定安装有第二安装杆，所述第二安装杆的底部设置有安装底板。本实用新型通过设置底座用于对密封箱进行安装，通过设置密封箱用于对物体进行刻蚀，通过设置密封门用于将物体送至密封箱的内部，同时与密封箱密封使得密封箱内部产生真空，同时解决了现有的刻蚀机较大，其刻蚀设备位于机体的中部不方便送料，从而导致生产效率低下的问题。 |
