含有探针卡的测试系统、方法
基本信息
| 申请号 | CN202110804740.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113589138A | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN113589138A | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I;G01S7/497（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李利民;雷述宇;张冰;刘志翔 | 申请（专利权）人 | 苏州芯迈智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州中合知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵晓芳 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区现代大道88号6层6-038工位（集群登记） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本方案涉及一种含有探针卡的测试系统、方法。所述系统包括：探针卡、光源系统、被测TOF芯片晶圆、中控单元、测试头；探针卡上设置有若干镂空区域；光源系统设置在探针卡上方，包括顶部直流光源、匀光板、半透半反镜、底部脉冲光源；顶部直流光源设置在匀光板顶部；若干层匀光板平行设置在半透半反镜上方，直流光信号垂直照射在被测TOF芯片晶圆表面；底部脉冲光源设置在探针卡一侧的顶部；脉冲光信号倾斜照射在被测TOF芯片晶圆表面；中控单元用于控制测试头工作，得到测试结果。在探针卡上方设置光源系统，无需采购光源，降低了成本；且不需要单独的光源发生设备，降低了测试系统的占地面积。 |
