首页/ 晶瑞电子材料股份有限公司/ 专利详情

一种多晶硅片制绒装置

基本信息

申请号 CN202020384499.1 申请日 -
公开（公告）号 CN211897171U 公开（公告）日 2020-11-10
申请公布号 CN211897171U 申请公布日 2020-11-10
分类号 C30B33/10(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 傅华;高小云;刘兵;金炳生 申请（专利权）人 晶瑞电子材料股份有限公司
代理机构 苏州国诚专利代理有限公司 代理人 王丽
地址 215000 江苏省苏州市吴中经济开发区河东工业园善丰路168号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶硅片制绒装置，包括容置有制绒液的制绒槽以及安装在制绒槽内用于承载并带动多晶硅片移动的若干移动辊，制绒槽的顶端开口，制绒槽的底端设置有多个进液管，制绒液通过多个进液管进入制绒槽内；制绒槽的两侧还设置有一对贯穿口，多晶硅片通过一对贯穿口穿过制绒槽；若干移动辊转动设置在制液槽内用于带动多晶硅片进行移动；单个移动辊上设置有用于承载多晶硅片的环形容置槽；制绒槽上设置有电加热管。本实用新型结构简单，制绒槽包括内壳体和外壳体，在内壳体和外壳体之间的间隙内设置有多个电加热管，通过加热的方式提高温度，尤其是在低温环境下，能够有效提高制绒效率，方便实用。