一种蚀刻液及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202110928638.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113773840A | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN113773840A | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | C09K13/06（2006.01）I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 金炳生;刘耀鹏;高小云;刘兵 | 申请（专利权）人 | 晶瑞电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 向亚兰 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区河东工业园善丰路168号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种蚀刻液及其制备方法和应用，该蚀刻液含有（A）醋酸、（B）盐酸、（C）调控剂及（D）水；调控剂包含式（Ⅰ）所示的含有氨基苯基的化合物和/或聚苯胺，调控剂以无机酸盐形式存在，1‑6式中，R为H、C的烷基或制备方法包括：按配方量将各成分混合，分散，过滤，滤液为蚀刻液；及上述蚀刻液在蚀刻氧化铟系膜中的应用；该蚀刻液能够降低对铝布线的腐蚀，且提升对氧化铟的蚀刻容量，体系稳定性好，对有机膜、氮化硅及玻璃等的残渣除去优异等性能优点。 |
