一种用液体涂覆基板的设备
基本信息
| 申请号 | CN201910492212.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110323163A | 公开（公告）日 | 2019-10-11 |
| 申请公布号 | CN110323163A | 申请公布日 | 2019-10-11 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱双双;刘连俊 | 申请（专利权）人 | 索里布罗科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201600 上海市松江区锦昔路258号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用液体涂覆基板的设备，该设备包括保持机构、进液机构、第一框架、第二框架，其中，保持机构用于固定所述基板，并且能够与基板的表面形成反应腔室。进液机构设置在保持机构上，用于将液体引入到所述反应腔室内的基板表面上。保持机构可以实现围绕第一轴和第二轴翻转。利用该设备能够利于液体均匀分布在基板的表面，提高液体涂覆的均匀性，并且提高涂覆效率。 |
