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微发光器件的转印装置、转印方法及显示面板

基本信息

申请号 CN202110645839.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113394137A 公开（公告）日 2021-09-14
申请公布号 CN113394137A 申请公布日 2021-09-14
分类号 H01L21/67;H01L21/683;H01L23/544;H01L33/48;H01L27/15 分类 基本电气元件;
发明人 李蒙蒙;盛翠翠;董小彪;葛泳;王程功 申请（专利权）人 成都辰显光电有限公司
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人 尹红敏
地址 611731 四川省成都市高新区天映路146号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例提供一种微发光器件的转印装置、转印方法及显示面板，微发光器件的转印装置包括：拾取基板，用于接收待转移的微发光器件，拾取基板包括层叠设置的第一本体及第一粘接层，第一粘接层背离第一本体的表面具有用于与微发光器件对位的第一对位标记；目标基板，用于接收从拾取基板转移的微发光器件，目标基板和拾取基板相对可移动设置，目标基板包括层叠设置的第二本体及用于粘接微发光器件的第二粘接层；激光器，用于发射激光以使微发光器件由第一粘接层脱落。本发明实施例的转印装置通过在第一粘接层上设置第一对位标记能够提高微发光器件和拾取基板的对位精度，提高微发光器件转移技术的良率。