一种具有低反射低雾度的金属网格传感器及其制备工艺
基本信息
申请号 | CN202110455609.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113215555A | 公开(公告)日 | 2021-08-06 |
申请公布号 | CN113215555A | 申请公布日 | 2021-08-06 |
分类号 | C23C18/16(2006.01)I;C23C18/38(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I;G03F7/11(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 方莹;谢才兴 | 申请(专利权)人 | 江苏软讯科技有限公司 |
代理机构 | 北京华际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李帅 |
地址 | 213000江苏省常州市天宁区蓝天路158号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种具有低反射低雾度的金属网格传感器及其制备工艺,包括以下步骤:(1)涂布:取基底,在其上表面和下表面涂布有色光刻胶,固化形成光刻胶层,在光刻胶层的表面涂布催化剂溶液,固化形成催化剂层;(2)曝光:对上一步骤得到的基底进行双面同时曝光;(3)显影:利用显影液对上一步骤得到的基底进行显影处理;(4)化铜:利用镀铜液形成金属层;(5)黑化:形成黑化层;(6)制备保护层。本发明通过有色光刻胶的设置,降低所制金属网格底部的反射率,黑化降低所制金属网格表面的反射率,降低所制金属网格在金属网格传感器双面的反射率和雾度,使得金属网格的图案不易观察,从而提高金属网格传感器的透过率和外观效果。 |
