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一种一体化耐高温压力传感器

基本信息

申请号	CN202022627472.3	申请日	-
公开（公告）号	CN213842472U	公开（公告）日	2021-07-30
申请公布号	CN213842472U	申请公布日	2021-07-30
分类号	G01L1/00（2006.01）I;G01L1/26（2006.01）I;G01L19/04（2006.01）I;G01L19/00（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	陈飞;徐轩;张波	申请（专利权）人	武汉中航传感技术有限责任公司
代理机构	上海精晟知识产权代理有限公司	代理人	莫冬丽
地址	430000湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种一体化耐高温压力传感器，包括压力管座，所述压力管座的下表面设置有外壳，且压力管座的上表面设置有绕线件，所述压力管座的内部设置有CMOS集成电路，所述外壳的内部设置有压力芯片。本实用新型涉及压力传感器技术领域，该一体化耐高温压力传感器，通过COMS集成电路与压力芯片集成封装技术实现压力传感器一体化设计，从而实现小型化的设计；压力芯片与安装座静电键合连接技术，使得传感器可在250℃环境下长期使用，满足传感器耐高温需求，芯片能够长期在‑55℃～250℃的高宽温区内进行压力测量，能在不同环境下测量，代替了传统压力传感器只能在150℃的环境下进行工作，进而延长了该压力传感器的使用寿命。