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应用于槽式显影机的芯片制造辅助组件及系统

基本信息

申请号 CN202021553481.6 申请日 -
公开（公告）号 CN212750815U 公开（公告）日 2021-03-19
申请公布号 CN212750815U 申请公布日 2021-03-19
分类号 G03F7/30(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 石也琛;李跃辉 申请（专利权）人 吉林麦吉柯半导体有限公司
代理机构 成都极刻智慧知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 张红平
地址 132000吉林省吉林市高新区深圳街99号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型实施例提供的一种应用于槽式显影机的芯片制造辅助组件及系统，芯片制造辅助组件的第一传动件通过固定件固定连接于第二传动件，悬吊件固定连接于第一传动件，悬吊件远离第一传动件的一端设置有用于挂持芯片收容筐的挂持件。其中，第一传动件用于带动悬吊件沿第一方向作往复运动，第二传动件用于带动第一传动件沿第二方向作往复运动以间接带动悬吊件沿第二方向作往复运动。如此，悬吊件能够在第一传动件和第二传动件的互相配合下将挂持于挂持件的芯片收容筐交替地浸泡于槽式显影机所开设的显影槽和冲水槽中，从而实现芯片在显影槽和冲水槽之间的平稳转移，进而避免显影槽和冲水槽中的腐蚀液的迸溅。