腐蚀机反应装置及腐蚀机
基本信息
| 申请号 | CN202020336286.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211455657U | 公开（公告）日 | 2020-09-08 |
| 申请公布号 | CN211455657U | 申请公布日 | 2020-09-08 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 黄国民 | 申请（专利权）人 | 吉林麦吉柯半导体有限公司 |
| 代理机构 | 成都极刻智慧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吉林麦吉柯半导体有限公司 |
| 地址 | 132000吉林省吉林市高新区深圳街99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例提供一种腐蚀机反应装置及腐蚀机，详细地，本申请中，在腐蚀机的腐蚀液喷嘴下方设置遮挡部，可以在腐蚀机的旋转主轴带动夹盘旋转对夹盘上放置的待腐蚀物进行腐蚀时，阻挡腐蚀液漏入穿杆螺栓。如此，能够有效解决由于反应腔漏液导致备件寿命减少的情况，从而减少维修保养频次，降低维修费用，提升生产产能。 |
