一种晶圆显影承载机构及显影机
基本信息
| 申请号 | CN201821990973.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208937913U | 公开（公告）日 | 2019-06-04 |
| 申请公布号 | CN208937913U | 申请公布日 | 2019-06-04 |
| 分类号 | G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张昊 | 申请（专利权）人 | 吉林麦吉柯半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吉林麦吉柯半导体有限公司 |
| 地址 | 132000 吉林省吉林市高新区深圳街99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种晶圆显影承载机构及显影机，属于显影技术领域。其包括活动组件；用于支撑活动组件的固定组件，活动组件可移动地安装在固定组件上；用于驱动活动组件在固定组件上进行移动的驱动组件，驱动组件与活动组件传动连接。该装置用于晶圆的自动机械化清洗，结构简单且使用便捷。 |
