推拉控制设备和扩散炉系统
基本信息
| 申请号 | CN202110635720.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113340125A | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN113340125A | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | F27D19/00（2006.01）I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 刘大力 | 申请（专利权）人 | 吉林麦吉柯半导体有限公司 |
| 代理机构 | 成都极刻智慧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宋江 |
| 地址 | 132000吉林省吉林市高新区深圳街99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供的推拉控制设备和扩散炉系统，涉及半导体器件生产技术领域。在本申请中，推拉控制设备用于对扩散炉的推拉舟进行驱动，推拉控制设备包括步进电机、电机驱动器、可编程控制器、第一继电器和终端控制设备。终端控制设备用于根据设定触发信号控制第一继电器输出第一控制信号给可编程控制器，可编程控制器基于第一控制信号输出第一脉冲信号给电机驱动器，电机驱动器基于第一脉冲信号驱动步进电机带动推拉舟运动出扩散腔室。基于上述设置，可以改善现有技术中半导体器件的生产效率较低和产品质量不佳的问题。 |
