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晶圆输送盒开合盖装置

基本信息

申请号	CN202123149847.0	申请日	-
公开（公告）号	CN216773203U	公开（公告）日	2022-06-17
申请公布号	CN216773203U	申请公布日	2022-06-17
分类号	H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	梁猛;赵凯;林海涛;李彬;邵迪	申请（专利权）人	上海世禹精密设备股份有限公司
代理机构	上海远同律师事务所	代理人	-
地址	201600上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种晶圆输送盒开合盖装置，包括开盖机构、机械臂和设于机械臂前端的夹持机构；开盖机构包括工作表面、真空发生器、两个钥匙和钥匙驱动装置，所述工作表面上设置有至少一个连通真空发生器的吸嘴；钥匙设立于工作表面上并受钥匙驱动装置驱动转动；夹持机构具有基座、设置于基座上的导轨和位置传感器、定夹持件、活动设置于导轨上的动夹持件，以及驱动动夹持件沿导轨向靠近所述定夹持件的方向运动，以对工件进行夹持的夹持驱动装置。其优点是：本机构配合晶圆输送盒水洗机工作，其全自动智能运行，大幅减少人力、速度快、效率高、减少了清洗晶圆输送盒后再次污染晶圆输送盒的可能。并且有晶圆输送盒的仓储区，适应水洗机的工作原理。