半导体元件转运设备

基本信息

申请号 CN202220346106.7 申请日 -
公开(公告)号 CN216749844U 公开(公告)日 2022-06-14
申请公布号 CN216749844U 申请公布日 2022-06-14
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 梁猛;林海涛;赵凯;时威;郑建峰 申请(专利权)人 上海世禹精密设备股份有限公司
代理机构 上海洞见未来专利代理有限公司 代理人 -
地址 201615上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体元件转运设备,包含:置物台;输送模块,输送模块位于置物台的一侧,用于输送待加工工件;整列中转平台,整列中转平台位于输送模块的一侧,整列中转平台用于对待加工工件进行位置调整;抓取模块,抓取模块设置在整列中转平台的一侧,用于抓取整列中转平台上的待加工工件。本实用新型可以根据后面工序的生产要求,来进行各零部件不同的位置分配,来达到模块化的中转转运,实现智能化的工件加工输送,无需人为操作,中转过程流畅,且速度快、效率高,可以保证加工周期的稳定,并节省人工成本。