半导体元件转运设备
基本信息
申请号 | CN202220346106.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216749844U | 公开(公告)日 | 2022-06-14 |
申请公布号 | CN216749844U | 申请公布日 | 2022-06-14 |
分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 梁猛;林海涛;赵凯;时威;郑建峰 | 申请(专利权)人 | 上海世禹精密设备股份有限公司 |
代理机构 | 上海洞见未来专利代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 201615上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种半导体元件转运设备,包含:置物台;输送模块,输送模块位于置物台的一侧,用于输送待加工工件;整列中转平台,整列中转平台位于输送模块的一侧,整列中转平台用于对待加工工件进行位置调整;抓取模块,抓取模块设置在整列中转平台的一侧,用于抓取整列中转平台上的待加工工件。本实用新型可以根据后面工序的生产要求,来进行各零部件不同的位置分配,来达到模块化的中转转运,实现智能化的工件加工输送,无需人为操作,中转过程流畅,且速度快、效率高,可以保证加工周期的稳定,并节省人工成本。 |
