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一种芯片自动上料检测机构

基本信息

申请号 CN202220215690.2 申请日 -
公开（公告）号 CN216773204U 公开（公告）日 2022-06-17
申请公布号 CN216773204U 申请公布日 2022-06-17
分类号 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 梁猛;林海涛;赵凯;倪海铨;王菲 申请（专利权）人 上海世禹精密设备股份有限公司
代理机构 上海远同律师事务所 代理人 -
地址 201600上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种芯片自动上料检测机构，包括底座，还包括设置在底座上用于传输芯片载具的传送辊道装置、用于将传送辊道装置上的载具转移的移料装置、用于感应芯片在载具上是否翘起的第一感应器以及用于回收移料装置上芯片处于翘起状态的载具的载具回收装置，传送辊道装置、第一感应器以及载具回收装置沿纵向依次相邻设置，移料装置与传送辊道装置沿横向相对设置，底座顶面还设置有用于驱使移料装置沿载具回收装置与传送辊道装置之间移动的纵向移动装置，使载具上具有翘起状态的芯片被第一感应器检测出来后送入载具回收装置中被回收，避免翘起的芯片影响后面芯片加工的自动化。