智能显示用大尺寸单层石墨烯透明导电薄膜的制备方法
基本信息
申请号 | CN201610619056.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106205868B | 公开(公告)日 | 2017-10-27 |
申请公布号 | CN106205868B | 申请公布日 | 2017-10-27 |
分类号 | H01B13/00(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 张伯文 | 申请(专利权)人 | 和光晶能工业科技有限公司 |
代理机构 | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人 | 张伯文;云灯光电(昆明)有限公司 |
地址 | 430000 湖北省武汉市东湖开发区关山大道以东创业街以北武汉光谷国际商务中心B幢10层1003号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种智能显示用大尺寸单层石墨烯透明导电薄膜的制备方法,其特征在于基于非氢气处理气氛下,采用快速热化学气相沉积法在热处理温度为820~900℃条件下实现了具有良好性能的智能显示用大尺寸单层石墨烯透明导电薄膜材料的快速制备,所制备的石墨烯导电薄膜的面积为(600±100)×(450±150)mm2,薄层电阻率为290±15Ω/sq,载流子迁移率可达5420~5780cm2/Vs,400nm处透过率为97.4~97.6%。可用于工业化批量生产。本发明工艺流程简单,制备周期短,有利于降低成本要求,实现技术推广和商业推广。 |
