喷雾处理装置
基本信息
| 申请号 | CN201921562075.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210897202U | 公开（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申请公布号 | CN210897202U | 申请公布日 | 2020-06-30 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 秋山政宪;片庭哲也 | 申请（专利权）人 | 铠魅科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 中国专利代理（香港）有限公司 | 代理人 | 李婷;刘茜 |
| 地址 | 201206上海市浦东新区上海自由贸易试验区西里路55号301-55室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种喷雾处理装置，为了提高基板的品质，从基板的上表面通过抽吸而去除处理液体从而使处理均匀、高效率地使供给槽内的处理液体的组分均匀化。处理单元（10B）的供给槽（13）与用于从处理单元（10B）的供给槽（13）向处理单元（10A）的供给槽（13）输送处理液体的送液通路（54A）连接。送液通路（54A）中设置有送液泵（53）和喷射器（52）。送液泵（53）从处理单元（10B）侧向处理单元（10A）侧输送处理液体（5）。喷射器（52）具有文丘里管、且与处理单元（10A）的抽吸机构（50）连通。喷射器（52）的抽吸侧顶端为由处理单元（10A）的抽吸机构（50）实现的抽吸作用所需的负压。 |
