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一种半导体生产用空气净化装置

基本信息

申请号 CN202011087224.2 申请日 -
公开（公告）号 CN111921287B 公开（公告）日 2021-05-18
申请公布号 CN111921287B 申请公布日 2021-05-18
分类号 B01D46/00;B01D53/00;B08B15/04 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 李松和;刘军;刘瑞欣;林明青 申请（专利权）人 托特半导体（山东）有限公司
代理机构 北京化育知识产权代理有限公司 代理人 尹均利
地址 271000 山东省泰安市开发区北集坡一天门大街隆基科技城10号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公布了一种半导体生产用空气净化装置，其包括，净化壳体、传动进风机构、切换进风机构，所述的净化壳体为长方体结构，传动进风机构、切换进风机构安装于净化壳体内，净化壳体内设置有进风管、净化器、排风管，进风管呈水平布置，进风管的两端与外界连通，进风管上接通有连接壳体，连接壳体靠近净化壳体的一侧，连接壳体上接通有连通管，当通风壳体二处于打开状态时，进风管内气体经进风管的另一端部排出，从而除去杂质气体，挡块一、挡块二与连接板相抵时，能够减缓连接板的移动速度，从而减缓通风壳体一、通风壳体二的启闭速度，因此能够将杂质气体经进气管排尽。