一种半导体材料制备设备
基本信息
| 申请号 | CN201910063244.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109765088B | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN109765088B | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | G01N1/44(2006.01)I;G01D21/02(2006.01)I;G01N1/38(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I;G01N27/72(2006.01)I;G01N1/42(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 李松和;刘军;李明霞 | 申请（专利权）人 | 托特半导体（山东）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 271000 山东省泰安市开发区北集坡一天门大街隆基科技城10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种半导体材料制备设备，基架传送系统、溶胶系统、旋涂系统、烧结系统、测试系统，基架传送系统、旋涂系统设置在同一水平面上，溶胶系统固定设置在基架传送系统上方，烧结系统、测试系统设置在基架传送系统内侧不同高度上，基架传送系统依次穿过烧结系统以及测试系统；本发明具备自动化作业的功能；置有三层立式结构，可有效的减少设备的占地面积，增加设备的使用范围；可制备复合半导体薄膜，进一步加强了该发明的科研用途，同时可进行薄膜的电磁性能测试；在样品制备中进行了多次混料，可将胶体充分均匀化。 |
