掩模容器
基本信息
| 申请号 | CN202010054914.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113140492A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113140492A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 梁贤石;金帅炯;金成昱 | 申请（专利权）人 | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵文曲 |
| 地址 | 266000山东省青岛市黄岛区太白山路172号青岛中德生态园双创中心219室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种掩模容器，用于承载掩模，所述掩模容器包括形成收纳掩模的空间的载盘及盖部，所述载盘包括相连接的底部及侧部，所述盖部包括上盖与前盖，所述上盖的一边与所述侧部可转动地连接，另一边与所述前盖可转动地连接，所述掩模容器还包括将所述上盖扣合于所述侧部上的扣合部。本发明的实施例提供的掩模容器增设扣合部将上盖扣合于侧部上，避免掩模上的图案被前盖远离上盖的一端破坏，影响后续的曝光显影制程，提高了制程良率。 |
