对准标记系统
基本信息
| 申请号 | CN201911205271.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111354714B | 公开（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申请公布号 | CN111354714B | 申请公布日 | 2022-02-15 |
| 分类号 | H01L23/544（2006.01）I;G03F1/42（2012.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 梁时元;刘智龙;权炳仁 | 申请（专利权）人 | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址 | 266000山东省青岛市黄岛区太白山路172号青岛中德生态园双创中心219室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种对准标记系统，其包括：第一组对准标记，其具有被分成群组的多个段，所述组彼此对称；与所述第一组对准标记正交的第二组对准标记，所述第二组对准标记具有被分成群组的多个段，各组彼此对称；和一与所述第一组对准标记和所述第二组对准标记对角设置的第三组对准标记，所述第三组对准标记具有被分成群组的多个段，并且所述群组正交于其各自的相邻组。 |
