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一种薄膜材料相变温度测量装置及方法

基本信息

申请号	CN201810767563.1	申请日	-
公开（公告）号	CN109001160B	公开（公告）日	2021-03-05
申请公布号	CN109001160B	申请公布日	2021-03-05
分类号	G01N21/41(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	缪向水;陈子琪;童浩;王愿兵;蔡颖锐	申请（专利权）人	武汉嘉仪通科技有限公司
代理机构	湖北武汉永嘉专利代理有限公司	代理人	许美红;王杰
地址	430075湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种薄膜材料相变温度测量装置，包括衬底、电极阵列、探测光光源、信号探测装置、红外测温装置和计算机；衬底为不透光衬底，电极阵列置于衬底上，待测薄膜覆盖于电极阵列的表面，探测光光源向待测薄膜表面发射探测光，在探测光光斑落点平面内，电极阵列在至少一个方向呈现周期性结构，探测光的入射方向与电极的周期性变化方向相同；信号探测装置获取经电极阵列衍射的探测光信号，传输至计算机；电极阵列的一端接电源正极、另一端接电源负极，通电后能够为待测薄膜加热，红外测温装置安装于待测薄膜上方监测待测薄膜的温度，传输至计算机。本发明装置及方法基于光学衍射，能够准确、快速地测量薄膜相变温度，具有快速、无损测量的特点。