一种薄膜材料相变温度测量装置及方法

基本信息

申请号 CN201810767563.1 申请日 -
公开(公告)号 CN109001160B 公开(公告)日 2021-03-05
申请公布号 CN109001160B 申请公布日 2021-03-05
分类号 G01N21/41(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 缪向水;陈子琪;童浩;王愿兵;蔡颖锐 申请(专利权)人 武汉嘉仪通科技有限公司
代理机构 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 代理人 许美红;王杰
地址 430075湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种薄膜材料相变温度测量装置,包括衬底、电极阵列、探测光光源、信号探测装置、红外测温装置和计算机;衬底为不透光衬底,电极阵列置于衬底上,待测薄膜覆盖于电极阵列的表面,探测光光源向待测薄膜表面发射探测光,在探测光光斑落点平面内,电极阵列在至少一个方向呈现周期性结构,探测光的入射方向与电极的周期性变化方向相同;信号探测装置获取经电极阵列衍射的探测光信号,传输至计算机;电极阵列的一端接电源正极、另一端接电源负极,通电后能够为待测薄膜加热,红外测温装置安装于待测薄膜上方监测待测薄膜的温度,传输至计算机。本发明装置及方法基于光学衍射,能够准确、快速地测量薄膜相变温度,具有快速、无损测量的特点。