红外快速退火炉
基本信息
| 申请号 | CN202111595920.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114318547A | 公开（公告）日 | 2022-04-12 |
| 申请公布号 | CN114318547A | 申请公布日 | 2022-04-12 |
| 分类号 | C30B33/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王愿兵;徐成松;蔡自彪;王振玉;李小平;杨林;熊磊;刘红;邵炜;张胜;林冲 | 申请（专利权）人 | 武汉嘉仪通科技有限公司 |
| 代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人 | 许美红 |
| 地址 | 430075湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种红外快速退火炉，包括炉体，其内设有上、下两排红外灯管，相邻红外灯管之间均设有红外隔热挡片，阻隔红外光透过。本发明通过利用红外隔热挡片将各相邻红外灯管隔开，红外隔热片耐高温，且不利于红外光透过，以此减弱边缘灯管向中心位置辐射热量，将单根红外灯管隔离为单独辐射热源，较大减少红外波透过，可以有效缓解硅片加热过程中的边缘场效应，保持硅片具有良好的温度均匀性。 |
