用于测量薄膜材料相变温度的装置及方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

用于测量薄膜材料相变温度的装置及方法

基本信息

申请号	CN201810767504.4	申请日	-
公开（公告）号	CN109030414B	公开（公告）日	2021-05-11
申请公布号	CN109030414B	申请公布日	2021-05-11
分类号	G01N21/41	分类	测量；测试;
发明人	缪向水;陈子琪;童浩;王愿兵;蔡颖锐	申请（专利权）人	武汉嘉仪通科技有限公司
代理机构	湖北武汉永嘉专利代理有限公司	代理人	许美红;王杰
地址	430075 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种用于测量薄膜材料相变温度的装置，包括衬底、电极、红外温度探测器、激光光源、多普勒探测器、飞秒脉冲激光光源；衬底用于铺设待测薄膜，电极置于待测薄膜上，红外温度探测器监测待测薄膜的温度；激光光源向待测薄膜表面斜射探测光，飞秒脉冲激光光源向同一入射点垂直射入飞秒激光脉冲，从而在薄膜内产生声波，使探测光在待测薄膜表面的反射光引起多普勒频移，多普勒探测器用于探测该反射光的多普勒频移信号。本发明测量装置及方法利用飞秒激光诱导薄膜产生声波，利用薄膜晶态和非晶态之间折射率的差异，反应声波在一定厚度薄膜内传播一个来回的时间差异，通过多普勒探测器探测反射光的多普勒频移信号，具有快速、无损测量的优点。