一种适用于大尺寸单晶硅感光快速收尾的单晶炉盖

基本信息

申请号 CN201921225084.3 申请日 -
公开(公告)号 CN211367794U 公开(公告)日 2020-08-28
申请公布号 CN211367794U 申请公布日 2020-08-28
分类号 C30B15/00;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 韩凯;张文霞;武志军;霍志强;赵志远;宋瑞强;景吉祥;高润飞;王林;徐强 申请(专利权)人 TCL中环新能源科技股份有限公司
代理机构 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 栾志超
地址 300384 天津市滨海新区新技术产业园区华苑产业区(环外)海泰东路12号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种适用于大尺寸单晶硅感光快速收尾的单晶炉盖,用于单晶炉上,能够监控单晶炉内液面光圈亮度,判断液面温度,根据实时温度调整拉速进行收尾,通过对单晶炉内液面亮度的监控,获得液面温度变化的信息,与拉速配合实现快速收尾的目的,使得收尾过程更为灵活,既保证有效的减少位错,又不会造成原料的浪费;另外还能通过实时数据变化实现收尾自动化,与人工经验判断比较效率更高,也更适合批量化、规模化。