一种单晶炉排气口自净化装置
基本信息
申请号 | CN201822207953.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN209722364U | 公开(公告)日 | 2019-12-03 |
申请公布号 | CN209722364U | 申请公布日 | 2019-12-03 |
分类号 | C30B35/00(2006.01) | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 张文霞; 高润飞; 谷守伟; 裘孝顺; 武志军; 郭志荣; 刘伟; 张全顺 | 申请(专利权)人 | TCL中环新能源科技股份有限公司 |
代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
地址 | 300384 天津市滨海新区新技术产业园区华苑产业区(环外)海泰东路12号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种单晶炉排气口自净化装置,包括第一旋转装置、第二旋转装置和清扫装置,第一旋转装置与第二旋转装置相配合,清扫装置与第二旋转装置连接。本实用新型的有益效果是采用涡轮蜗杆相配合,清扫装置与涡轮连接,通过涡轮带动清扫装置旋转,对排气管道进行清扫,工作可靠,清扫效率高,将炉体运行过程不断将沉积下来的氧化物清扫掉,防止氧化物堆积过多堵住排气管道,提高单晶炉的工作效率,提高单晶质量。 |
