一种适用于大尺寸单晶的排气系统
基本信息
| 申请号 | CN201921204057.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211005710U | 公开（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申请公布号 | CN211005710U | 申请公布日 | 2020-07-14 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 张文霞;高润飞;王林;谷守伟;徐强;郭志荣 | 申请（专利权）人 | TCL中环新能源科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 地址 | 300384 天津市滨海新区新技术产业园区华苑产业区（环外）海泰东路12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种适用于大尺寸单晶的排气系统，包括单晶炉底板和排气管道，排气管道与单晶炉底板连接，还包括排气口和排气口封堵装置，其中，排气口与单晶炉底板连接，且排气口与排气管道连通，便于氧化物排出；排气口封堵装置与排气口转动连接，排气口封堵装置对排气口打开或关闭，控制排气系统排气口打开的数量。本实用新型的有益效果是结构简单，维修方便，具有排气口封堵装置和管道封堵装置，能够对排气口和管道进行封堵，使得排气口能够分批次打开和关闭，排气管道内具有自净化装置，在保证炉台正常运行过程中，将炉内不断沉积下来的氧化物清扫掉，使炉台正常运行，且分批次打开排气口，降低功耗，降低用电成本，保证单晶质量。 |
