一种直拉硅单晶增氧的控制系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202210078574.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114561699A | 公开（公告）日 | 2022-05-31 |
| 申请公布号 | CN114561699A | 申请公布日 | 2022-05-31 |
| 分类号 | C30B29/06（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 祁海滨;冉泽平;李金波;倪浩然 | 申请（专利权）人 | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州融方专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 311201浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种直拉硅单晶增氧的控制系统及方法，包括壳体，所述壳体固定连接有第一电机，所述第一电机连接有齿轮组件，所述第一电机输出侧靠近齿轮组件端连接有驱动机构，所述齿轮组件侧端连接有从动轴，所述从动轴上端固定连接有盛放壳，所述从动轴连接有第二皮带轮组件，所述第二皮带轮组件连接有清洁杆，所述壳体固定连接有抽气机，所述壳体固定连接有涡流室，所述涡流室固定连接有冷气管，本发明涉及直拉单晶硅生产技术领域。该直拉硅单晶增氧的控制系统及方法，冷气经管道经波纹管将冷气连接杆导至分离件端，在冷气的作用下，转板顶起，冷气经转板所展开的注气槽及滤板排放至石英坩埚底端，石英坩埚遇冷收缩。 |
