一种测试重掺硅单晶寿命的测试系统及快速检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202210078584.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114563332A | 公开（公告）日 | 2022-05-31 |
| 申请公布号 | CN114563332A | 申请公布日 | 2022-05-31 |
| 分类号 | G01N17/00（2006.01）I;G01N21/84（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 祁海滨;冉泽平;李金波;倪浩然 | 申请（专利权）人 | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州融方专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 311201浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种测试重掺硅单晶寿命的测试系统及快速检测方法，包括恒温测试箱，恒温测试箱内腔的上下两侧通过密封隔板分为试验腔和元件腔，本发明涉及重掺硅单晶测试技术领域。该测试重掺硅单晶寿命的测试系统及快速检测方法，通过在净化箱的内部错位设置多组分流板，并通过通口形成S型流腔，净化流道增长，氮氧化合物气体进入到催化箱之后，经过S型流腔内的多组催化盒，并通过在催化盒内填充的还原剂和吸附剂，使得催化箱内部的氮氧化合物气体可以经过多次催化处理，有效的提高了对氮氧化合物气体的净化效果，进而避免重掺硅单晶寿命的检测过程中，氮氧化合物气体直接排放会污染环境，且对于操作人员产生危害的问题。 |
