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敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计

基本信息

申请号 CN202110913158.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113791241A 公开（公告）日 2021-12-14
申请公布号 CN113791241A 申请公布日 2021-12-14
分类号 G01P15/097（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 刘晓智;孙刚;丁凯;苏翼;杨亚杰;李陈征 申请（专利权）人 北京自动化控制设备研究所
代理机构 - 代理人 -
地址 100074北京市石景山区云岗北里1号院3号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计，该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环，应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔，振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置，振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件，摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件，第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘，第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。