一种翘曲度测量装置

基本信息

申请号 CN202011102068.2 申请日 -
公开(公告)号 CN114370811A 公开(公告)日 2022-04-19
申请公布号 CN114370811A 申请公布日 2022-04-19
分类号 G01B5/30(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 杨柳;孙军;张振中;和巍巍 申请(专利权)人 深圳基本半导体有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518000广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处秀新社区锦绣中路14号深福保现代光学厂区B栋201
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种翘曲度测量装置。所述翘曲度测量装置包括基座、承载机构及测量机构。所述承载机构包括第一支架及测量平台。所述测量平台上形成有第一通孔。所述第一支架的两端分别与所述测量平台及所述基座螺纹连接,并在所述测量平台与所述基座之间形成一安装区域。所述测量机构包括测量部和从所述测量部伸出的探针,所述测量部架设于所述安装区域内,且使得所述探针的第一端伸出所述第一通孔。如此,无需将待测模块倒置,即可实现低成本且简易测量的目的。本发明测量稳定、成本较低且操作简单。