一种自支撑纳米金属片及封装方法

基本信息

申请号 CN202111593880.4 申请日 -
公开(公告)号 CN114388466A 公开(公告)日 2022-04-22
申请公布号 CN114388466A 申请公布日 2022-04-22
分类号 H01L23/488(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 唐宏浩;张学强;和巍巍;汪之涵;郑泽东;陈霏 申请(专利权)人 深圳基本半导体有限公司
代理机构 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 代理人 廖厚琪
地址 518000广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处秀新社区锦绣中路14号深福保现代光学厂区B栋201
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种自支撑纳米金属片,包括金属支撑骨架和金属填充物,其中,金属填充物填充于金属支撑骨架的空隙中,金属支撑骨架与金属填充物的质量比为1:2-1:10。本发明提出的自支撑纳米银片包括金属支撑骨架,以及金属填充物,在功率模块的封装过程中,利用金属支撑骨架的自支撑能力能够实现高平整无翘曲的界面连接,可应用于需要大面积、无压或者低压连接的如封装基板与底板的互连;且自支撑纳米银片由于采用银、铜等贵金属作为导热金属,与传统的锡铅焊片相比,接触热阻大大降低。