一种多气体均匀混气罐
基本信息
| 申请号 | CN202110801044.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113368723A | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN113368723A | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | B01F5/06（2006.01）I;B01F3/02（2006.01）I;B01F13/10（2006.01）I;B01F15/04（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 宋立禄;张海林;滕玉朋 | 申请（专利权）人 | 赛瑞达智能电子装备（无锡）股份有限公司 |
| 代理机构 | 青岛晸投知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李常芳 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市锡山区芙蓉中三路99号瑞云6座1楼东三个逗号众创空间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多气体均匀混气罐，包括混气罐罐体，混气罐罐体内部的中部位置按不同高度设置有第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板，第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板贯穿圆心固定设置有网孔板连接柱，第一混气网孔板和第二混气网孔板之间设置有第一混合腔，第二混气网孔板和第三混气网孔板之间设置有第二混合腔，第三混气网孔板和第四混气网孔板之间设置有第三混合腔。本发明的一种多气体均匀混气罐，就很好的解决了单独进入气体不能在工艺腔室容积中均匀化的问题，使得各种气体在经过流量计精确控制所需进入的流量后，各个气体不单独进入工艺腔室。 |
