一种立式高温氧化、退火炉
基本信息
| 申请号 | CN202110191565.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112833661A | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN112833661A | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | F27B1/09;F27B1/10;F27B1/14;F27B1/28;F27D1/18;F27D7/06;F27D11/10;H01L21/67 | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 宋立禄;张海林;吴季浩;滕玉朋;刘国霞 | 申请（专利权）人 | 赛瑞达智能电子装备（无锡）股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市锡山区芙蓉中三路99号瑞云6座1楼东三个逗号众创空间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的一种立式高温氧化、退火炉包括：真空密封炉膛，通过炉底法兰与真空密封炉膛连接的炉门室，炉门室底部开口处通过炉门密封，真空密封炉膛内设有保温层，所述保温层与工艺炉管之间形成加热腔，所述加热腔内设置加热器；所述工艺炉管与炉底法兰、炉门室、炉门密闭形成工艺腔；穿过所述保温层和炉壳分别设置炉壳真空管和炉壳进气管；穿过所述炉门室一侧设置工艺腔真空管，另一侧设置工艺腔进气管。本发明通过在真空密封炉膛内设置炉底保温层，炉壳保温层，炉盖保温层，且炉盖保温层与炉盖进行内部固结形成一体，炉壳内的三组保温层形成一个封闭保温空腔，使得立式高温氧化炉加热达到的温度能够稳定的保持，减少能源消耗。 |
