体声波谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202010828584.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112003581A | 公开（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申请公布号 | CN112003581A | 申请公布日 | 2020-11-27 |
| 分类号 | H03H9/02(2006.01)I;H03H9/17(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 黄韦胜;林瑞钦 | 申请（专利权）人 | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 代理机构 | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛梁山头村惠风同庆花园一期G17-S栋1-2层6室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：衬底，以及依次设于所述衬底上的反射结构、底电极、压电层和顶电极；所述体声波谐振器包括谐振区，所述谐振区包括边缘区，所述边缘区中设有至少一个空腔，且每个空腔的顶部和/或底部位于所述压电层的内部。本发明能够避免侧向波在共振时形成寄生模态，降低侧向波的能量泄露。 |
